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  • 產品名稱: 工具鍍膜機
  • 上架時間: 2016-04-29
  • 瀏覽次數: 1469

工具鍍膜機

    PVD1050-8型多弧離子鍍膜機是專門為工具(功能)鍍膜應用開發的計算機自動控制離子鍍膜機,適用于切屑刃具、模具等鍍膜生產,可獲得更好的膜層質量和耐蝕性能等。

    設備可在450~500℃高溫下長期穩定的運行

    配置離子源清洗,加裝擋板,實現離子轟擊清洗,輔助沉積

    配有步進電機驅動轉架,實現精確定位,轉架可拉出便于裝卸工件

    配有φ155大弧源,特點:膜層組織細膩,顆粒小,先進的電磁掃描磁場,弧斑運動速度更快、實現高效濺射。

    4縱列弧源配置,可沉積2種不同材料膜系且膜層均勻。

    寬水道加強設計,超強剛性,爐體水冷效果好。

高端配置:

萊寶真空單級泵SV200

霍廷格脈沖偏壓36KW

弧電源(IGBT模塊)

萊寶高真空分子泵 MAG2200

VAT氣動插板閥

英福康CDG045D薄膜規

德國BERKERT寶得氣體質量流量計8711

三菱FX系列PLC邏輯控制器及功能模塊

   技術參數:

   真空室內尺寸:φ1050x1200

   極限真空度:5x10-4Pa

   空恢時間:大氣抽到6.7x10-3Pa≤20min

   壓升率:≤0.5Pa/h

   占地空間:L3.6×W3.3×H2.5m3

   裝機容量:約180KW

   主要配置:

   弧源:φ155大弧源,8套

   離子源: 霍爾離子源或大功率弧光柱型離子源

   加熱方式:盤管式加熱器,分區加熱

   工件架:下轉架,行星公自轉結構,采用交流伺服電機驅動

   控制方式:PLC/觸摸屏控制

   脈沖偏壓:40KW

   弧電源:200A

   主要膜層:TiN  ALTiN  TiAlSIN  TiCN 

             AlCrN  CrN  DLC(選配)

   真空系統配置:

   高真空泵:F-3600分子泵

   預抽泵:RTO-300 羅茨泵

           2XT-70旋片泵

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